Análisis de Targets & Calidad

Análisis Químico

Los procesos internos de PhotonExport incluyen la entrega de un Certificado de Análisis (COA) con cada sputtering target suministrado. Las técnicas utilizadas para realizar el COA suelen ser de difracción X, Espectroscopia de emisión atómica de plasma acoplado indictivamente (ICP-OES), o espectroscopia de masa luminiscente (GDMS). Para detectar impurezas no metálicas, como oxígeno, se pueden realizar análisis bajo pedido.

Podemos realizar los siguientes análisis para usted :

Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry (ICP-OES):

Este tipo de análisis es el más adecuado para determinar porcentajes de materiales en aleaciones
ICP-OES es una de las herramientas de análisis más comunes para determinar trazas de elementos. Esta técnica se base en la emisión espontánea de fotones provenientes de átomos y iones que han sido excitados por una descarga RF. Las muestras líquidas o de gas se inyectan directamente en el equipamiento de análisis. Las muestras sólidas requieren extracción o dilución en ácido, pero las muestras que se pueden analizar pueden ser muy pequeñas, típicamente menos de 1 ml o 50 mg

ICP-OES analysis application :

  • Materiales de alta pureza
  • Blancos de pulverización catódica
  • Aleaciones metálicas

Glow-Discharge Mass Spectrometry (GDMS) :

El análisis GDMS es más adecuado para determinar impurezas metálicas. Generalmente se usa para hacer  trace-analysis o ultra-trace-analysis en metales y semi-conductores. La espectroscopio por descarga luminiscente permite tener un análisis directo y en profundidad de sólidos como metales, vidrios cerámicas con muy alta sensibilidad. Se pueden analizar muestras grandes si son planes, rígidas y suficientemente espesas para cubrir el diámetro de 4 o 2 mm del ánodo. El proceso cubre toda la tabla periódica de elementos menos el hidrógeno.

Tipos de análisis con GDMS :

  • Análisis de perfil superficial : una señal de cada elemento químico es función del tiempo de erosión
  • Bulk analysis : análisis químico global

Aplicaciones de GDMS:

  • Blancos de pulverización
  • Metales, incluyendo metales refractarios y aleaciones
  • Materiales ultra puros
  • Tierras rara y otros óxidos
  • Metales preciosos
  • Bulk analysis composición elemental)
  • Perfilometría qualitativa en profundidad: análisis de la superficie (in-depth profile) hasta 100 µm
  • En función de la topologia superficial, se pueden medir capas de menos de 100 nm
  • Muestras curvas también se pueden analizar