Características sensor de espesor de película Phoenix™
Un sensor de espesor de película, estándar refrigerado por agua puede experimentar una discrepancia de 20°C en 10 minutos durante la deposición de alta velocidad.La fluctuación de la temperatura es la causa más importante de la deriva de la frecuencia en los cristales.
En una industria de mediciones nanométricas, este nivel de variación dará lugar fácilmente a una inexactitud significativa en la lectura del espesor. Por ello, Colnatec ha concebido y creado el sensor Phoenix™.
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