Recursos do sensor de espessura de filme Phoenix™
A flutuação de temperatura é a causa mais significativa da deriva de frequência nos cristais.
O sensor de espessura de filme padrão arrefecido a água pode experimentar uma discrepância de 20°C dentro de 10 minutos durante a deposição de alta taxa. Numa indústria de medições de nanómetros, este nível de variação resultará facilmente numa imprecisão significativa com a leitura da espessura. Assim, a Colnatec concebeu e criou o sensor de espessura de película Phoenix™.
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