Kuru Dağlama (Plazmalı Dağlama) vakum ortamında plazmayı kullanarak  kaplama yüzeyinden meteryallerin sökülmesi sağlar.Kısacası reaktif türlerde uçucu tepkime yan ürünlerinin oluşumu ile alt tabaka yüzeyinden çıkarmak istediğiniz plazma içindeki meteryal ile reaksiyona girmelidir. Bu süreç dört adıma veya  aşağıdaki şekilde süreçlere bölünebilir.

  • Aktif Gaz Türlerinin Oluşumu: İyonlar, elektronlar ve radikaller gibi gaz türleri, plazma deşarjı bölgesinde harekete geçirilir.

 

  • Taşınan Aktif Türler: Nötr türler alt tabak yüzeyine nufuz ettirilir. Alt yüzey katodundaki negatif eğilim, yüklü türleri yüzeye doğru hızlanmasını sağlar.

 

  • Yüzey Tepkisi: Bir dizi mekanizma üç ana alt-aşamada ortaya çıkar.Etkileyen iyonların enerjisine bağlı prosesler önemli bir fiziksel bileşene sahipken, kimyasal etken sırasında aktifleştirilmiş nötrler kinetik enerjisinden bağımsız tepki verirler.  Normalde çoğu işlem fiziksel ve kimyasal reaksiyonları içerir. Bu yüzey reaksiyonunun üç temel alt aşaması şunlardır:
  • Öncüler Emilimi
  • Yüzey Reaksiyonu
  • Ürünlerin Desorpsiyonu

 

  • Pompa İndirme Etkisi: “Ürünlerin desorpsiyonu” adımı sonrasında, uçucu reaksiyon ürünleri toplu plazmaya yayılır ve vakum pompası ile uzaklaştırılır. Dağlama ve reaksiyon ürünlerinin difüzyon yönleri, alt katman yüzeyindeki ve toplu plazmadaki ilgili konsantrasyon gradyanları ile belirlenir.
    .