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Recursos do máquina individual PECVD de filme fino.
A máquina de filme fino único PECVD tem uma posição muito forte na indústria de semicondutores devido à sua capacidade de depositar uma ampla variedade de filmes finos.
Com rigoroso controle das propriedades mecânicas, com o uso de uma única fonte de alimentação de RF, as ferramentas oferecem alta confiabilidade de processo.
Durante o processo, são garantidos níveis mínimos de impurezas graças ao seu design eficaz, com distribuição de gás e temperatura, que conferem a espessura e propriedade do filme fino em todo o substrato.
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