IMM-200: Monitoramento de Taxa e Espessura de Precisão para Máximo Rendimento

O IMM-200 é um monitor avançado de deposição de filmes finos projetado para oferecer precisão e confiabilidade inigualáveis. Construído com a tecnologia ModeLock da INFICON, maximiza a reprodutibilidade e uniformidade, ao mesmo tempo em que oferece medições de alta resolução, precisão superior na espessura e ruído de taxa mínimo.

Com um oscilador embutido, o IMM-200 se integra perfeitamente a sistemas baseados em Ethernet, exigindo mínimo hardware e espaço. Seu design compacto, mas poderoso, garante desempenho ideal para diversas aplicações industriais e de pesquisa.

IMM-200

Características do IMM-200:

  • Tecnologia ModeLock: Garante a maior vida útil do cristal e medições de taxa e espessura mais estáveis e de alta resolução, mesmo em taxas de deposição muito baixas.
  • Máximo Rendimento e Precisão: Proporciona a melhor medição de espessura QCM (Quartz Crystal Microbalance), melhorando a eficiência do processo e a qualidade do produto.
  • Custo-Eficiente e Eficiente: Monitor de canal único com design simplificado, eliminando recursos desnecessários para reduzir custos enquanto mantém o monitoramento de alto desempenho.
  • Alta Precisão de Medição: Alcança uma estabilidade de ±0,0035 Hz em 100 ms de tempo de amostra, garantindo controle ultra-preciso sobre a deposição de filmes finos.
  • Conectividade Ethernet: Permite integração perfeita com sistemas modernos de fabricação, aprimorando a automação e o controle do processo.
  • Design Compacto e Economizador de Espaço: O design compacto do IMM-200 minimiza os custos de integração e otimiza o uso do espaço de trabalho, tornando-o ideal para ambientes de fabricação de alta tecnologia.
  • Suporte Especializado para Aplicações: Nossa equipe oferece suporte especializado, atendendo às necessidades únicas de aplicações e oferecendo expertise líder na indústria.
  • Conformidade com RoHS: Fabricado para atender aos rigorosos padrões ambientais e de segurança, garantindo uma produção sustentável e responsável.

Especificações do IMM-200:

  • Entradas do Sensor: 1
  • MeasFaixa de Frequência de Medição: 6,0 a 4,5 MHz (fixa)
  • Resolução de Taxa e Espessura:
    0,0042 Å (cristal novo)
    0,0076 Å (cristal a 4,5 MHz) em uma amostra de 100 ms (para densidade do material = 1,0, Z-Ratio = 1,0)
  • Tipo de Comunicação: Ethernet, 1 porta RJ45



Ideal para Aplicações em:

  • Fabricação de Semicondutores
  • Aplicações em OLED

O IMM-200 é a solução perfeita para monitoramento de deposição de alta precisão, proporcionando uma precisão, eficiência e controle inigualáveis para processos de fabricação avançados.

IMM-200 Operating Manual (English)

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IMM-200 Brochure

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PDMAT SemiQCM Datasheet

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