Otimize os Processos de Semicondutores com o Sensor SemiQCM™ CR
O sensor SemiQCM™ CR é uma solução altamente durável e quimicamente inerte, projetada para câmaras CVD e ALD, mesmo nas condições mais exigentes. Como parte de um sistema abrangente de monitoramento de precursores, ele se integra perfeitamente com o IMM-200 e o FabGuard (versão 19.12.00-a ou superior) para garantir um controle preciso do processo e uma maior eficiência operacional.
Monitoramento de Processos de Semicondutores Otimizado
Com o rastreamento em tempo real dos precursores, o SemiQCM CR aprimora as aplicações de semicondutores, permitindo a detecção de ponto final e a prevenção de falhas. Ao monitorar continuamente os níveis de precursores na linha de alimentação ou no escape da câmara, ele garante uma abordagem econômica para a estabilidade e otimização do processo.
Detecção Imediata de Entrega de Precursores
A alta sensibilidade do sistema permite a identificação rápida de falhas na entrega de precursores, detectando problemas já com um único wafer, minimizando desperdícios e maximizando a eficiência do processo.
Características
- Monitoramento de Alta Frequência: Os dados QCM são capturados a 10Hz, garantindo medições rápidas e confiáveis.
- Correlações Inteligentes de Dados: O FabGuard sincroniza os dados QCM com os estados das ferramentas e as etapas do processo para uma análise precisa.
- Precisão Superior de Medição: Permite o acompanhamento de alta precisão das taxas de deposição e gravação.
- Sensibilidade Sub-Monolayer: Detecta alterações em camadas ultrafinas com precisão excepcional.
Benefícios
- Monitoramento em Tempo Real e In-Situ: Oferece supervisão contínua do ambiente do processo.
- Prevenção de Super-Desgaste: Detecta e previne a remoção excessiva de material, otimizando o rendimento.
- Detecção e Diagnóstico de Falhas: Identifica anomalias no equipamento ou no estado do processo para manutenção proativa.
Aplicações Comuns:
• Fabricação de Semicondutores
Especificações dos Sensores SemiQCM™ CR:
| Maximum Temperature | 200°C |
| Sensor head Size (Maximum envelope) | 15 mm O.D. x 39.2 mm (0.59 in. O.D. x 1.54 in.) |
| MATERIALS | |
| SemiQCM CR Body and Holder | 6061 Aluminum |
| SemiQCM CR Springs | Beryllium Nickel |
| SemiQCM CR Nut and Conductor Tube | Inconel 625 |
| SemiQCM CR Other Mechanical Parts | Nickel 200, Aluminum, or Inconel 625 |
| Insulators | >99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere |
| Wire | 1. Ni (in vacuum) 2. Ni plated Cu (elsewhere) |
For Full Specifications
PDF • 48 MB
Consumíveis
| Número da peça | Descrição |
| 750-7053-G1S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed |
| 750-7053-G2S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed |
| 750-7053-G3S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
| 750-1089-G10 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals |
| 750-1127-G5 | SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals |
| 750-1128-G5 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals |
Peças de reposição
| Número da peça | Descrição |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
Para obter informações detalhadas sobre preços ou saber mais sobre como o SemiQCM™ CR pode beneficiar suas necessidades específicas, não hesite em entrar em contato conosco.