SQM-160: Monitoramento Avançado de Deposição de Filmes Finos
O SQM-160 utiliza a avançada tecnologia de sensor de cristal de quartzo da INFICON para fornecer medições precisas de taxa e espessura em processos de deposição de filmes finos. Projetado para flexibilidade, inclui duas entradas de sensor padrão, com a opção de expandir até seis para capacidades aprimoradas de monitoramento. Além disso, duas saídas de gravador analógico fornecem dados em tempo real de taxa e espessura.
Configuração de Sensor Aprimorada
O SQM-160 permite que os usuários atribuam entradas de sensor a diferentes materiais, calculem médias de múltiplas entradas para um controle aprimorado de deposição em sistemas de grande escala ou configurem uma configuração de sensor duplo. O modo de amostragem de taxa estende a vida útil do sensor ao utilizar um sensor com obturador em ambientes de deposição de alta taxa. Os usuários também podem selecionar entre exibições de taxa de 0,1 Å/s ou 0,01 Å/s para uma precisão otimizada.
Monitoramento e Controle Personalizáveis
Além das medições de taxa e espessura, o SQM-160 oferece opções de exibição de Frequência e Massa para atender às diferentes necessidades de monitoramento. Equipado com quatro saídas de relé, o dispositivo controla perfeitamente obturadores de fonte e sensor, aciona pontos de ajuste de espessura e tempo, e detecta falhas de cristal. As entradas digitais permitem que sinais externos iniciem, parem e reinicializem leituras, oferecendo maior flexibilidade no controle.
Características do SQM-160:
- Medição de canal duplo (expansível até seis)
- Saídas analógicas para registro em tempo real de taxa/espessura
- Opção de alta resolução: 0,03Hz a 10 leituras/segundo
- Interface RS-232 padrão com conectividade USB ou Ethernet opcional
Este sistema de monitoramento de ponta garante precisão excepcional, flexibilidade e confiabilidade em aplicações de deposição de filmes finos, tornando-o uma escolha ideal para pesquisa e uso industrial.
Resolução Padrão do SQM-160
- Entradas de Sensor QCM: Padrão: 2; opcional: 4
- Faixa de Frequência de Medição: Ajustável:
Mínimo: 1,0 MHz
Máximo: 6,5 MHz - Resolução/medição de espessura e taxa (1): ± 0.37 Å
- Filmes Armazenados: 99
- Entradas/Saídas Digitais: Quatro entradas, quatro saídas de relé
Resolução Alta do SQM-160
- Entradas de Sensor QCM: Padrão: 2; opcional: 4
- Faixa de Frequência de Medição: Ajustável:
Mínimo: 1,0 MHz
Máximo: 6,5 MHz - Resolução/medição de espessura e taxa (1): ± 0.037 Å
- Filmes Armazenados: 99
- Entradas/Saídas Digitais: Quatro entradas, quatro saídas de relé
(1) Ferramenta/densidade = 100/1, frequência fundamental = 6 MHz, intervalo de medição de 0,10 s
Acessórios
Acessórios
| Front Load Single Sensor |
| Front Load Dual Sensor |
| Cool Drawer Single Sensor |
| Cool Drawer Dual Sensor |
| Easy Rate Single Sensor |
| Easy Rate Dual Sensor |
| UHV Bakeable Sensor |
| Sputtering Sensor |
Consumíveis
Peças de Reposição
| Número da Peça | Descrição |
| 782-900-014 | 19 in. Rack Mount Kit for two SQM-160 or CI-100 instruments |
| 782-502-096-G1 | USB option card |
| 782-502-097-G1 | Ethernet option card |
| Oscillator kits | (Includes oscillator and cables) |
| 783-500-109-10 | 3 m (10 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-25 | 7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-50 | 15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-75 | 22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable |
| Oscillator Only | (No cables included) |
| 783-500-013-G1 | OSC-100 oscillator only (no cables) |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female |
| 782-902-012-10 | 3 m (10 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-25 | 25 7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-50 | 15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-75 | 22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male |
Transferências
Brochuras
Manuais
SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor
PDF • 642 KB
SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual
PDF • 5,2 MB
Arquivos 3D Step
SQM-160-H-6-U – SQM Deposition Monitor
STP • 5,7 MB • 3D FILES
Número da Peça
SQM-160
PNG • 127,0 KB
Outros
SQM-160 Comm Software V1.14(Windows)
ZIP • 5,0 MB • ENGLISH
SQM-160 LabVIEW™ Example
ZIP • 117,4 KB • ENGLISH
SQM-160 V2 Software v2.9.0 (Windows)
EXE • 15,8 MB • ENGLISH
USB Installer v1.8.0
EXE • 14,3 MB • ENGLISH • SOFTWARE
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