Sensor Duplo de Carga Frontal
O Sensor Duplo de Carga Frontal foi projetado para oferecer precisão excepcional, confiabilidade e durabilidade, tornando-se a escolha ideal para processos críticos de deposição de filmes finos. Com sua configuração de cristal duplo, este sensor garante operação contínua, ativando automaticamente o cristal reserva quando o cristal primário atinge o fim de sua vida útil. Esse recurso é essencial para aplicações de revestimento de alta precisão, minimizando interrupções e mantendo a eficiência consistente do processo.
Instalação Sem Esforço e Integração Perfeita
O design de carga frontal simplifica a inserção do suporte de cristal, especialmente em espaços apertados onde a inserção lateral não é viável. Esse recurso compacto aumenta a flexibilidade em diversas configurações de sistema, facilitando a integração em sistemas de deposição a vácuo novos e existentes.
Design Durável, Modular e de Baixa Manutenção
Ao contrário das alternativas soldadas, o Sensor Duplo de Carga Frontal é montado mecanicamente, permitindo substituições rápidas e sem complicações quando necessário. Esse design modular reduz significativamente o tempo de inatividade, garantindo que sua linha de produção permaneça eficiente e ininterrupta. Sua construção robusta proporciona durabilidade a longo prazo, minimizando a necessidade de manutenção frequente e oferecendo um desempenho de medição consistente e de alta qualidade.
Opções de Instalação Flexíveis para Máxima Compatibilidade
Este sensor de alto desempenho está disponível individualmente ou como parte de uma combinação de sensor/passagem, oferecendo soluções personalizadas de acordo com requisitos específicos de instalação. Com opções para soldagem ou conexões por compressão, ele se integra perfeitamente a diversos sistemas de deposição a vácuo, garantindo máxima adaptabilidade ao processo.
Otimizado para Aplicações de Alta Precisão
Projetado para o monitoramento de filmes finos em ambientes de fabricação avançada, o Sensor Duplo de Carga Frontal atende a aplicações exigentes de revestimento, como revestimentos ópticos, processamento de semicondutores e revestimentos industriais de precisão. Sua funcionalidade de cristal duplo proporciona uma solução econômica, reduzindo a necessidade de intervenções manuais frequentes e aumentando a produtividade geral do sistema.
Seja para atualizar uma configuração existente ou desenvolver um novo processo de deposição a vácuo, o Sensor Duplo de Carga Frontal oferece a estabilidade, precisão e eficiência necessárias para obter resultados superiores de deposição com requisitos mínimos de manutenção.
Características
- Cristais duplos
- Obturador de cristal
- Suporte de cristal de carga frontal
- Instalação fácil
- Disponível com: passagem roscada de 2,54 cm (1 polegada) e passagem CF40
- Comprimento ajustável se solicitado com conexões por compressão
- Nenhuma soldagem necessária se solicitado com conexões por compressão ou soldado à passagem
- Combinações de sensor/passagem disponíveis, soldadas com os comprimentos especificados pelo cliente
Especificações do Sensor Duplo de Carga Frontal:
| Maximum operating isothermal environment temperature with minimum water flow | 400°C |
| Crystal exchange | Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders. |
| Water tubes | S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing |
| Feedthrough Specifications 1 in. bolt and Ultra-Torr (compression fitting) terminations: | |
| Materials | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| Temperature | Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without |
| Mounting | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
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Acessórios
Acessórios
| Nome | Descrição |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
Consumíveis
| Nome | Descrição |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Peças de reposição
| Número da peça | Descrição |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 080-018 | Set screw (for female coax) |
| 082-044 | Teflon screw (for leaf spring) |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-169-P2 | Bellows assembly (coupling not included) |
| 750-171-P1 | Finger spring contact |
| 750-172-G1 | Crystal holder (includes retainer spring) |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-210-G1 | Shutter module (bellows assembly, shaft assembly, and shutter assembly) |
| 750-215-G1 | Shaft assembly (part of shutter module) |
| 750-216-G1 | Shutter assembly (part of shutter module)In-vacuum cables |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) – Requires ModeLock controller |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) – Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) – Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) – Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) – Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) – Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
Outros
Application Note – Shuttered Crystal Sensor
PDF • 121,3 KB • ENGLISH
What is a QCM Sensor?
PDF • 531,6 KB • ENGLISH
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