Идеально подходит для всех применений металлизации образцов SEM и TEM
Системы осаждения Denton Desk V — это высокопроизводительные инструменты, дающие исключительные, воспроизводимые и стабильные результаты для подготовки образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Для покрытия от стандартных до очень сложных потребностей предлагаются две версии: роторные или турбомолекулярные насосные системы.
Desk V HP оснащен роторным насосом, обеспечивающим рабочее давление 50 мторр, для распыления постоянным током благородных (неокисляющих) металлов, углеродного напыления, покрытия углеродного волокна и ионного травления для предварительной очистки образцов. Сухие спиральные или более мощные вакуумные насосы предлагаются для применений, где требуется еще более низкое загрязнение вакуумной системы или более высокий вакуум.
Desk V TSC – это система с турбомолекулярным насосом, установка высокого разрешения, оснащенная камерой из нержавеющей стали, подходящая для окисляющих и неокисляющих металлов. Устройство наносит проводящий слой для подготовки образцов для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии и предлагает головки для нанесения покрытий с помощью магнетронного распыления, углеродного стержня и углеродного волокна.
Универсальный и простой в использовании
Desk V размещает широкий спектр материалов (включая иридий). Высокая однородность покрытий с превосходным соответствием и покрытием обеспечивается за счет уникальной конструкции предметного столика, допускающей вращение, переменный угол наклона стола и регулировку высоты от 90 до 130 мм для точного контроля расстояния от источника до подложки.
Благодаря 6-дюймовому сенсорному экрану, быстро заменяемым головкам источника и вставным модулям, легко заменяемому столику для образцов и конструкции «включай и работай» Desk V является передовой и простой в использовании системой для каждого электронного микроскописта и занятого исследователя. Уставки процессов накачки, травления по времени и распыления для давления, мощности, вентиляции и продолжительности управляются с помощью полноцветного интуитивно понятного экрана.
Desk V может хранить и запускать до 10 предварительно заданных рецептов покрытия, обеспечивая еще большую согласованность, точность, повторяемость и однородность нанесенных слоев. Это передовое программирование и хранение рецептов обеспечивает еще более простое переключение материалов и методов осаждения для разных образцов.
Подходит для любого применения
Система Desk V предлагается с различными опциями и аксессуарами для удовлетворения всех возможных потребностей электронной микроскопии. Широкий выбор вакуумных систем — от различных роторных и сухих спиральных насосов до систем с турбомолекулярным насосом и стальной камерой для самых требовательных приложений.
Ассортимент столиков для образцов, отвечающий большинству требований, начинается со статического столика и травильного стола с затвором, входящим в стандартную комплектацию. Для превосходного охвата образцов предлагается наклонный и вращающийся стол, а также большой плоский предметный столик для подложек размером до 100 мм. Помимо стандартной головки магнетронного распыления, доступны головки из углеродной нити и углеродного стержня.
Для считывания толщины в режиме реального времени имеется опциональный монитор толщины пленки.

Desk V Opções | Desk V HP | Desk TSC |
DC Magnetron Sputteting (100mA) | S | S |
Evaporação de Rod de Carbono | O | O |
Evaporação de fio de carbono | O | O |
Tabela de gravura com obturador permitindo pré-limpar amostras antes da deposição | S | S |
Mesa inclinável e rotativa (sem habilidade para pulverizar amostras de etch) | O | O |
Substrato de até 100 mm de diâmetro com o obturador (não disponível com a opção do monitor de espessura) | O | O |
Tela sensível ao toque colorida do PLC para monitorar e alterar o processo em tempo real | S | S |
Armazenamento para até 10 receitas pré-definidas | S | S |
Câmara de processo de vidro de 150 mm de diâmetro | S | N/A |
Câmara de aço inoxidável de 150 mm de diâmetro | O | S |
Turbo bomba molecular para obter pressão de base em 10e-6 torr | N/A | S |
Metais oxidantes e não oxidantes por pulverização catódica para revestimentos de alta resolução | N/A | S |
Capacidade de definir set-points de pressão | N/A | S |
Monitor de espessura de filme para leitura em tempo real de espessura | O | O |
Bomba mecânica para atingir 50 mTr de pressão do processo | S | S |
Bomba de rolagem a seco (sem óleo) para reduzir os contaminantes no sistema de vácuo | O | O |
S – disponível em padrão, O – opção, N / A – não disponível |
Приложения
- Подготовка образцов СЭМ (напыление)
- Подготовка образцов SEM (испарение углерода)
- Подготовка образцов с высоким разрешением
- Подготовка проб для ТЭМ
- Полупроводники
- Геология
- Судебная экспертиза
- Материаловедение
- Медицина
- Наука о жизни

SE DESEJA SABER MAIS SOBRE OS NOSSOS EQUIPAMENTOS PVD, CLIQUE AQUI PARA OS DESCOBRIR.