Настольное устройство для нанесения покрытий для подготовки образцов для микроскопии -Bench coater

Идеально подходит для всех применений металлизации образцов SEM и TEM

Системы осаждения Denton Desk V — это высокопроизводительные инструменты, дающие исключительные, воспроизводимые и стабильные результаты для подготовки образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Для покрытия от стандартных до очень сложных потребностей предлагаются две версии: роторные или турбомолекулярные насосные системы.

Desk V HP оснащен роторным насосом, обеспечивающим рабочее давление 50 мторр, для распыления постоянным током благородных (неокисляющих) металлов, углеродного напыления, покрытия углеродного волокна и ионного травления для предварительной очистки образцов. Сухие спиральные или более мощные вакуумные насосы предлагаются для применений, где требуется еще более низкое загрязнение вакуумной системы или более высокий вакуум.

Desk V TSC – это система с турбомолекулярным насосом, установка высокого разрешения, оснащенная камерой из нержавеющей стали, подходящая для окисляющих и неокисляющих металлов. Устройство наносит проводящий слой для подготовки образцов для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии и предлагает головки для нанесения покрытий с помощью магнетронного распыления, углеродного стержня и углеродного волокна.

Универсальный и простой в использовании

Desk V размещает широкий спектр материалов (включая иридий). Высокая однородность покрытий с превосходным соответствием и покрытием обеспечивается за счет уникальной конструкции предметного столика, допускающей вращение, переменный угол наклона стола и регулировку высоты от 90 до 130 мм для точного контроля расстояния от источника до подложки.

Благодаря 6-дюймовому сенсорному экрану, быстро заменяемым головкам источника и вставным модулям, легко заменяемому столику для образцов и конструкции «включай и работай» Desk V является передовой и простой в использовании системой для каждого электронного микроскописта и занятого исследователя. Уставки процессов накачки, травления по времени и распыления для давления, мощности, вентиляции и продолжительности управляются с помощью полноцветного интуитивно понятного экрана.

Desk V может хранить и запускать до 10 предварительно заданных рецептов покрытия, обеспечивая еще большую согласованность, точность, повторяемость и однородность нанесенных слоев. Это передовое программирование и хранение рецептов обеспечивает еще более простое переключение материалов и методов осаждения для разных образцов.

Подходит для любого применения

Система Desk V предлагается с различными опциями и аксессуарами для удовлетворения всех возможных потребностей электронной микроскопии. Широкий выбор вакуумных систем — от различных роторных и сухих спиральных насосов до систем с турбомолекулярным насосом и стальной камерой для самых требовательных приложений.

Ассортимент столиков для образцов, отвечающий большинству требований, начинается со статического столика и травильного стола с затвором, входящим в стандартную комплектацию. Для превосходного охвата образцов предлагается наклонный и вращающийся стол, а также большой плоский предметный столик для подложек размером до 100 мм. Помимо стандартной головки магнетронного распыления, доступны головки из углеродной нити и углеродного стержня.

Для считывания толщины в режиме реального времени имеется опциональный монитор толщины пленки.

Bench Coater

Desk V Opções Desk V HP Desk TSC
DC Magnetron Sputteting (100mA) S S
Evaporação de Rod de Carbono O O
Evaporação de fio de carbono O O
Tabela de gravura com obturador permitindo pré-limpar amostras antes da deposição S S
Mesa inclinável e rotativa (sem habilidade para pulverizar amostras de etch) O O
Substrato de até 100 mm de diâmetro com o obturador (não disponível com a opção do monitor de espessura) O O
Tela sensível ao toque colorida do PLC para monitorar e alterar o processo em tempo real S S
Armazenamento para até 10 receitas pré-definidas S S
Câmara de processo de vidro de 150 mm de diâmetro S N/A
Câmara de aço inoxidável de 150 mm de diâmetro O S
Turbo bomba molecular para obter pressão de base em 10e-6 torr N/A S
Metais oxidantes e não oxidantes por pulverização catódica para revestimentos de alta resolução N/A S
Capacidade de definir set-points de pressão N/A S
Monitor de espessura de filme para leitura em tempo real de espessura O O
Bomba mecânica para atingir 50 mTr de pressão do processo S S
Bomba de rolagem a seco (sem óleo) para reduzir os contaminantes no sistema de vácuo O O
S – disponível em padrão, O – opção, N / A – não disponível

Приложения

  • Подготовка образцов СЭМ (напыление)
  • Подготовка образцов SEM (испарение углерода)
  • Подготовка образцов с высоким разрешением
  • Подготовка проб для ТЭМ
  • Полупроводники
  • Геология
  • Судебная экспертиза
  • Материаловедение
  • Медицина
  • Наука о жизни
DENTON VACUUM

SE DESEJA SABER MAIS SOBRE OS NOSSOS EQUIPAMENTOS PVD, CLIQUE AQUI PARA OS DESCOBRIR.