Идеально подходит для всех применений металлизации образцов SEM и TEM
Системы осаждения Denton Desk V — это высокопроизводительные инструменты, дающие исключительные, воспроизводимые и стабильные результаты для подготовки образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Для покрытия от стандартных до очень сложных потребностей предлагаются две версии: роторные или турбомолекулярные насосные системы.
Desk V HP оснащен роторным насосом, обеспечивающим рабочее давление 50 мторр, для распыления постоянным током благородных (неокисляющих) металлов, углеродного напыления, покрытия углеродного волокна и ионного травления для предварительной очистки образцов. Сухие спиральные или более мощные вакуумные насосы предлагаются для применений, где требуется еще более низкое загрязнение вакуумной системы или более высокий вакуум.
Desk V TSC – это система с турбомолекулярным насосом, установка высокого разрешения, оснащенная камерой из нержавеющей стали, подходящая для окисляющих и неокисляющих металлов. Устройство наносит проводящий слой для подготовки образцов для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии и предлагает головки для нанесения покрытий с помощью магнетронного распыления, углеродного стержня и углеродного волокна.
Универсальный и простой в использовании
Desk V размещает широкий спектр материалов (включая иридий). Высокая однородность покрытий с превосходным соответствием и покрытием обеспечивается за счет уникальной конструкции предметного столика, допускающей вращение, переменный угол наклона стола и регулировку высоты от 90 до 130 мм для точного контроля расстояния от источника до подложки.
Благодаря 6-дюймовому сенсорному экрану, быстро заменяемым головкам источника и вставным модулям, легко заменяемому столику для образцов и конструкции «включай и работай» Desk V является передовой и простой в использовании системой для каждого электронного микроскописта и занятого исследователя. Уставки процессов накачки, травления по времени и распыления для давления, мощности, вентиляции и продолжительности управляются с помощью полноцветного интуитивно понятного экрана.
Desk V может хранить и запускать до 10 предварительно заданных рецептов покрытия, обеспечивая еще большую согласованность, точность, повторяемость и однородность нанесенных слоев. Это передовое программирование и хранение рецептов обеспечивает еще более простое переключение материалов и методов осаждения для разных образцов.
Подходит для любого применения
Система Desk V предлагается с различными опциями и аксессуарами для удовлетворения всех возможных потребностей электронной микроскопии. Широкий выбор вакуумных систем — от различных роторных и сухих спиральных насосов до систем с турбомолекулярным насосом и стальной камерой для самых требовательных приложений.
Ассортимент столиков для образцов, отвечающий большинству требований, начинается со статического столика и травильного стола с затвором, входящим в стандартную комплектацию. Для превосходного охвата образцов предлагается наклонный и вращающийся стол, а также большой плоский предметный столик для подложек размером до 100 мм. Помимо стандартной головки магнетронного распыления, доступны головки из углеродной нити и углеродного стержня.
Для считывания толщины в режиме реального времени имеется опциональный монитор толщины пленки.
| Desk V options | Desk V HP | Desk TSC |
|---|---|---|
| DC Magnetron Sputteting (100mA) | S | S |
| Carbon Rod Evaporation | O | O |
| Carbon Yarn Evaporation | O | O |
| Etch table with shutter allowing to pre clean samples prior to deposition | S | S |
| Tilting and rotating table (without ability to sputter etch samples) | O | O |
| Up to 100mm diameter substrate with shutter (not available with thickness monitor option) | O | O |
| PLC full-color touch screen to monitor and change process in real time | S | S |
| Storage for up to 10 pre-defined recipes | S | S |
| 150mm diameter glass process chamber | S | N/A |
| 150mm diameter stainless steel chamber | O | S |
| Turbo molecular pump to achieve base pressure on 10e-6 torr | N/A | S |
| Sputter oxidizing and non-oxidizing metals for high resolution coatings | N/A | S |
| Ability to set pressure set-points | N/A | S |
| Film thickness monitor for real time reading of thickness | O | O |
| Mechanical pump to reach 50 mtorr process pressure | S | S |
| Dry scroll pump (oil-free) to lower contaminants in vacuum system | O | O |
| S – available in standard, O – option, N/A – not available | ||
Приложения
Подготовка образцов СЭМ (напыление)
Подготовка образцов SEM (испарение углерода)
Подготовка образцов с высоким разрешением
Подготовка проб для ТЭМ
Полупроводники
Геология
Судебная экспертиза
Материаловедение
Медицина
Наука о жизни
