Оксид индия и олова (ITO)
Оксид индия и олова, In2O5Sn, представляет собой твердый раствор оксида индия (III), In2O3, и оксида олова (IV), SnO2; доступен в таблетках. Это прозрачный полупроводниковый материал.
Характеристики
| Shape | Color | Purity | Package | Storage | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Sinter | Tablet | 9×5 mm Upon demand | Green yellow | 99.99% | 1 Kg/Bag | Avoid exposure to sunlight & acid Keep dry |
Характеристики оксида индия и олова
| CAS Number | Density (g/cm3) | Boiling point (Cº) | Melting point (Cº) | Refractive index at 550 (nm) | Transparency range (µm) | Evaporation source |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 50926-11-9 | 7.1 | / | 1565 | 1.8 | / | E |
| Applications | Conductive coating | |||||
Техника испарения
ITO полностью возвышен.Пленки осаждают реактивным и инертным электронно-лучевым испарением с использованием медных тиглей с Mo-вкладышами или термическим испарением с использованием покрытия Mo-лодочки. Но эти методы испарения трудны, потому что оксид индия и оксид олова будут испаряться в зависимости от их индивидуального давления пара, поэтому распыление является предпочтительным для нанесения тонких пленок ITO.