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Recursos do ion beam miling (feixe ionico)
A fresagem de feixes de iões é um processo que consiste num feixe directo de iões que incidem sobre um substrato numa câmara de vácuo.Baseia-se na troca de ónus entre os iões incidentes e os átomos do material alvo na colisão.Este sistema proporciona um processo de alto vácuo constituído por uma fonte de iões de feixe largo que irradia toda a área do substrato à medida que o substrato gira.O ângulo de incidência do feixe pode ser ajustado por uma fase de inclinação do substrato. Há um arrefecimento do substrato durante a gravura e utiliza uma superfície de substrato vertical para evitar contaminação.
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