Photon Export Official Representative in Equipment brans from Spain and Portugal, temos as melhores máquinas como: PVD Sputtering – Deposição de vapor físico – magnetron Sputtering.
RECURSOS DO PVD magnetron sputtering
A pulverização com magnetrão é um revestimento a vácuo de alta taxa técnica que permite a deposição de muitos tipos de materiais, incluindo metais e cerâmicas, sobre o mesmo número tipos de materiais de substrato através da utilização de um material especialmente formado campo magnético aplicado a um alvo de pulverização de díodos. O gama de máquinas oferecidas é simultaneamente dedicada à I&D e produção. Proporciona versatilidade devido à variedade de configurações disponíveis. Estão disponíveis diferentes opções em função do tamanho do eixo vertical cilíndrico câmara ou o tamanho da fonte.
PRINCIPAIS ESPECIFICAÇÕES
- 304L SS 450mm diâmetro da câmara interior
- Configuração do Sputter para cima ou para baixo
- Load lock available (manual or automatic) Rough or dry primary pumping unit
- Unidade de bombagem turbomolecular ou criogénica Configurações convergentes ou planares disponíveis : – Até seis fontes magnéticas de 100mm em modo planar – Até quatro fontes de magnatrões de 100mm em modo convergente Fontes de pulverização de 75mm e 100mm disponíveis
- Os cátodos são RF, DC/DC+ e HIPIMS polarizáveis
- Vasta gama de suportes de substrato (arrefecidos e/ou aquecidos a água até 800°C),tendencioso ou não. Até 200mm em modo convergente.
- Semi-automático (AC2000) ou controlador de supervisão PLC (AC3000)
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