Присоединение мишени к соответствующей опорной плите рекомендуется во избежание появления трещин или деформации мишени из-за недостаточного охлаждения. Термическая и механическая целостность связи между опорной пластиной и мишенью имеют решающее значение для обеспечения оптимальной производительности распыления. PhotonExport предлагает как металлическое, так и эластомерное крепление.
Крепление индием
Крепление индием считается процессом пайки, и проводится при температуре 170°C. этот метод считается наилучшим для присоединения мишеней с самой оптимальной теплопроводностью. Данный процесс крайне эффективен при рассеивании тепла с мишени. Также уменьшается вероятность появления трещин, благодаря более мягкой пайке, что создает возможность гибкости в случае, если мишень расширяется при разной относительной скорости по сравнению с опорной пластиной. Относительно низкая температура плавления 156,6 °C является основным ограничением этой пайки, так как температура выше 150°C вызовет плавление и разрушит крепление.
Задняя панель металлизированной подложки гарантирует плотное соединение с высокой надежностью. Трехслойное покрытие обеспечивает полное крепление с подложками, а возникающий барьерный слой предотвращает нежелательное сплавление с индием. Результатом является улучшенное крепление и повышенная теплопроводность.
Основные преимущества включают в себя: низкую температуру плавления, возможность снятия напряжения при охлаждении неоднородных металлов и снижение возможности деформации.
Эластомерное крепление
Эластомер является альтернативой другим системам крепления с несколькими выдающимися преимуществами, благодаря которым он завоевал признание в промышленном производстве. Преимущества включают в себя:
- Воспроизводимость пайки достигается за счет точной обработки и дозирования связующего материала.
- Контролируемые однородность и распределение связующего материала.
- Создает надежное соединение между различными материалами.
- Обеспечивает свободную от напряжения сборку.
- Пластичность эластомерного крепления позволяет соединять неоднородные металлы.
- Подходит для крепления хрупких материалов
- Связующий материал является электропроводящим.