Kuvars monitör kristali, kuvars kristali tabanlı ölçüm ve kontrol sistemi için çok önemlidir.
Kristal, hassas ve tekrarlanabilir ince film birikimi sağlar.
Kuvars kristal mikro terazisi (QCM’ler), substratlar üzerindeki ince filmin kalınlığını ölçmek için vakum biriktirme odalarında kullanılan mikro elektronik cihazlardır. Bu, kaplama işlemi sırasında kuvars kristalinin sağladığı frekans yanıtı kullanılarak yapılır. Bu frekans değişimi, kristal yüzey üzerindeki kaplama malzemesi miktarı ile ilişkilendirilebilir.
Kuvars kristalleri, kalınlığı Ångström düzeyinde gösterir (1 Angstrom, 0,00000000393701 İnç veya 0,0000001 Milimetreye eşittir). Hassasiyet ve doğruluk seviyeleri önemlidir çünkü 10 Angstrom kadar küçük kalınlık sapmaları ürün performansı üzerinde büyük bir etkiye sahip olabilir.
Bu sürecin kontrol sistemine etkisi ve sınırlandırılması, yenilikçi ve yeni ürünler geliştirmek için önemli bir adımdır. Daha gelişmiş optik, elektrik ve manyetik cihazlar doğru ölçümleri işleyebilen bir sensör gerektirdiğinden, kuvars kristal sensörlerin önemi son yirmi yılda artmaktadır.
Bu süreci üretim süreçlerinde kullanan endüstrilerden bazıları: optik, yarı iletken, güneş pili ve ince film gösterimi(OLED).
Teklif AlUygun elektrodu seçerek kuvars monitör kristalinizden daha uzun ömür elde edin.
- INFICON monitörler, kontrolörler ve mikro terazilerle uyumlu 6 MHz kuvars kristal sensörler
- Boyut: 14 mm (0,550 inç)
- Frekans: 6MHz
- 5 MHz kuvars kristalleri de mevcuttur.
- Boyut: 12,4 mm (0,489 inç)
- Frekans: 5MHz
Elektrot Tablosu Seçimi
| Electrode Material | Application Type | Electrode Chart Selection | Main Property |
| Gold | Standart | Infinite | Most common, adapted for most applications |
| Silver | Sputtering Type | Depends on oxidation and exposure to sulfur content in air (tarnishing effect) | Highest thermal conductance. Adapted when better heat transfer to cooled sensor body is needed. |
| Alloy | High Stress Coatings, Optical films, high stress semiconductor materials | Shorter than gold, two times more than Silver, with time alloy oxidize | Higher activity values compared to Gold and Silver |
Kuvars ince film monitör ekipmanını buradan kontrol edin.
Kuvars Kristal mikroterazisi nedir?
QCM sensörleri (mikro kuvars kristali), özel piezoelektrikler kullanılarak kuvars kristalinin frekansını ölçerek alan biriminin kütle değişimini sağlar. Frekanslar doğrusal olarak büyük (veya özel) olarak değişir. Kuvars kristal izleme sistemleri, filmlerin depolanması için vakum kameralarının temel bileşenlerinden biridir ve genellikle toplu üretimde kullanılır.
Sıcaklığı kontrol etmek çok önemlidir, çünkü rezonans frekansı sıcaklığa göre önemli ölçüde değişebilir. Sıcaklık toleransına bağlı olarak farklı kristal türleri bulunur. Normal olarak, trabalham no nível de Ångström (10-10 Sırası). 10 İngilizce veya birkaç kelime gibi pek çok farklı anlatım, üründen hiçbir şekilde büyük bir sonuç elde edemezsiniz. Sensör QCM’nin ilaçları son zamanlarda en iyi şekilde kullanılır. Her türlü optik, elektronik ve manyetik aygıtlar, 1 saniyelik güvenli bir çözünürlükte kamera analizlerini gerçekleştirebilecek bir işlemci sensörüne ihtiyaç duyar.
Tipik bir QCM sistemi nasıl görünür?
Vakum odasının içinde, filmin kalınlığını ölçmek için sensör alt tabakanın yakınına yerleştirilir. Bu kristalin çalışma frekansı aralığını ve elektrot kalitesini bilmek önemlidir. Vakum odası, sensörün sıcaklığını ve mekanik bütünlüğünü düzenleme işlevine sahip, sıcaklık kontrollü bir muhafazaya sahip olmalıdır.
Odanın dışında, elektrikli bir monitör, kristali titreşime zorlayan bir akım yaratıyor ve bu frekansı zaman içinde izliyor. Bu monitörün kristal frekans değişikliklerini ve sıcaklık özelliklerini doğru bir şekilde izleyebilmesi gerçekten önemlidir. Dahili bir mikroişlemci, zaman içindeki bu frekans değişikliklerini filmin gerçek kalınlığına dönüştürebilir.
Kuvars kristallerinin temel özellikleri nelerdir?
Satın aldığınız model sisteme bağlı olarak kristal farklı elektrot şekline sahip olabilir.
Kristalin Fiziksel Özellikleri:
- Materyal: Saf Silikon Dioksit monokristal
- Boyutlar : 0,550” +. 000/.002” Dış Çap
- Kontur: 2,5 – 3,0 diyoptri (212 – 177 mm eğrilik yarıçapı) plano-dışbükey
- Son: 7 mikron RMS pürüzlülüğe sahip plano ve kontur yüzeyler
- 13,95 mm çapındaki şeffaf açıklık dahilinde hiçbir talaş, çizik veya aşınma izi yok
Kristalin Elektriksel Özellikleri:
- Mevcut Frekanslar: 5 ve 6 MHz, temel seri rezonans
- Direnç: <10-15 Ohm
- Temas direnci: <10 Ohm desen tarafında uçtan uca