Tüm SEM ve TEM numune metalizasyon uygulamaları için ideal
Denton’s Desk V biriktirme sistemleri, taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve transmisyon elektron mikroskobu (TEM) numune hazırlama için olağanüstü, tekrarlanabilir ve tutarlı sonuçlar veren son derece üretken araçlardır. Standarttan çok zorlu ihtiyaçları karşılamak için iki versiyon sunulmaktadır: döner veya turbo moleküler pompa sistemleri
Desk V HP, asil (oksitleyici olmayan) metallerle DC püskürtme için 50 mtorr proses basıncına ulaşan bir döner pompa, karbon püskürtme, karbon fiber kaplama ve numune ön temizliği için iyon aşındırma ile donatılmıştır. Daha düşük vakum sistemi kirliliğinin veya daha yüksek vakumun gerekli olduğu uygulamalar için bir kuru kaydırma veya daha güçlü vakum pompaları sunulmaktadır.
Desk V TSC, oksitleyici ve oksitleyici olmayan metaller için uygun, paslanmaz çelik hazne ile donatılmış turbo moleküler pompalı sistem, yüksek çözünürlüklü birimdir. Ünite, tarama ve transmisyon elektron mikroskobu numune hazırlama için iletken bir tabaka biriktirir ve magnetron püskürtme, karbon çubuk ve karbon fiber kaplama başlıkları sunar.
Çok yönlü ve kullanımı kolay
Desk V, çok çeşitli materyaller (iridyum dahil) biriktirir. Kaynaktan alt tabakaya hassas mesafe kontrolü için dönüşe, değişken dereceli masa eğimine ve 90 ila 130 mm yükseklik ayarına izin veren benzersiz sahne tasarımı ile üstün uygunluk ve kapsamaya sahip son derece homojen kaplamalar sağlanır.
6” dokunmatik ekranı, hızlı değiştirilebilir kaynak başlıkları ve drop-in’i, değiştirilmesi kolay numune tablası ve tak ve çalıştır tasarımı sayesinde Desk V, her elektron mikroskobu ve meşgul araştırmacı için hem gelişmiş hem de kullanımı kolay bir sistemdir. Basınç, güç, havalandırma ve süre için pompalama, zamanlamalı aşındırma ve püskürtme işlemi ayar noktaları, tam renkli, sezgisel ekran tarafından yönetilir.
Desk V, 10 adede kadar önceden tanımlanmış kaplama reçetesini saklayabilir ve çalıştırabilir, böylece daha da iyi tutarlılık, hassasiyet, tekrarlanabilirlik ve biriktirilmiş katmanların tek biçimliliğini garanti eder. Bu son teknoloji reçete programlama ve depolama, farklı numuneler için malzemelerin ve biriktirme yönteminin daha da kolay değiştirilmesini sağlar.
Her uygulama için uygun
Desk V sistemi, olası her elektron mikroskobu ihtiyacını karşılamak için çeşitli seçenekler ve aksesuarlar ile sunulmaktadır. En zorlu uygulamalar için çeşitli döner ve kuru kaydırma pompalarından çelik hazneli turbo moleküler pompalı sisteme kadar çok çeşitli vakum sistemleri.
Çoğu gereksinimi karşılayacak bir dizi numune aşaması, standart olarak sağlanan kapaklı statik aşama ve aşındırma tablosundan başlar. Üstün numune kapsamı için, eğilebilir ve döner tabla ve 100 mm genişliğe kadar olan yüzeyler için düz tabla sunulmaktadır. Standart olarak verilen magnetron püskürtme başlığının yanı sıra karbon iplik ve karbon çubuk başlıkları da mevcuttur.
Gerçek zamanlı kalınlık okuması için isteğe bağlı bir film kalınlığı monitörü vardır.
| Desk V options | Desk V HP | Desk TSC |
|---|---|---|
| DC Magnetron Sputteting (100mA) | S | S |
| Carbon Rod Evaporation | O | O |
| Carbon Yarn Evaporation | O | O |
| Etch table with shutter allowing to pre clean samples prior to deposition | S | S |
| Tilting and rotating table (without ability to sputter etch samples) | O | O |
| Up to 100mm diameter substrate with shutter (not available with thickness monitor option) | O | O |
| PLC full-color touch screen to monitor and change process in real time | S | S |
| Storage for up to 10 pre-defined recipes | S | S |
| 150mm diameter glass process chamber | S | N/A |
| 150mm diameter stainless steel chamber | O | S |
| Turbo molecular pump to achieve base pressure on 10e-6 torr | N/A | S |
| Sputter oxidizing and non-oxidizing metals for high resolution coatings | N/A | S |
| Ability to set pressure set-points | N/A | S |
| Film thickness monitor for real time reading of thickness | O | O |
| Mechanical pump to reach 50 mtorr process pressure | S | S |
| Dry scroll pump (oil-free) to lower contaminants in vacuum system | O | O |
| S – available in standard, O – option, N/A – not available | ||
Uygulamalar
- SEM numune hazırlama (Püskürtme)
- SEM numune hazırlama (Karbon Buharlaştırma)
- Yüksek çözünürlüklü numune hazırlama
- TEM numune hazırlama
- yarı iletkenler
- jeoloji
- Adli
- Malzeme Bilimi
- İlaç
- Hayat bilimi
