SQM-160: Monitoreo avanzado de deposición de películas finas
El SQM-160 utiliza la avanzada tecnología de sensor de cristal de cuarzo de INFICON para ofrecer mediciones precisas de velocidad y grosor en los procesos de deposición de películas finas. Diseñado para ser flexible, incluye dos entradas estándar para sensores, con la opción de expandir hasta seis para capacidades de monitoreo mejoradas. Además, dos salidas analógicas para grabadoras proporcionan datos en tiempo real sobre la velocidad y el grosor.
Configuración de Sensor Mejorada
El SQM-160 permite a los usuarios asignar entradas de sensores a diferentes materiales, promediar múltiples entradas para mejorar el control de deposición en sistemas a gran escala o configurar una configuración de sensor dual. El modo de muestreo de velocidad extiende la vida útil del sensor al utilizar un sensor con obturador en entornos de deposición a alta velocidad. Los usuarios también pueden seleccionar entre pantallas de velocidad de 0.1 Å/s o 0.01 Å/s para una precisión optimizada.
Monitoreo y Control Personalizables
Más allá de las mediciones de velocidad y grosor, el SQM-160 ofrece opciones de visualización de Frecuencia y Masa para adaptarse a diferentes necesidades de monitoreo. Equipado con cuatro salidas de relé, el dispositivo controla de manera fluida los obturadores de la fuente y el sensor, activa los puntos de ajuste de grosor y tiempo, y detecta fallos en los cristales. Las entradas digitales permiten señales externas para iniciar, detener y restablecer las lecturas, lo que agrega mayor flexibilidad en el control.
Características
- Medición de doble canal (expandible a seis)
- Salidas analógicas para grabación en tiempo real de la velocidad/grosor
- Opción de alta resolución: 0,03Hz a 10 lecturas/seg
- Interfaz RS-232 estándar con conectividad opcional USB o Ethernet
Este sistema de monitoreo de vanguardia garantiza una precisión, flexibilidad y fiabilidad excepcionales en aplicaciones de deposición de películas delgadas, lo que lo convierte en una opción ideal para uso en investigación e industria.
Resolución estándar SQM-160
- Entradas de sensor QCM: Standard: 2; optional: 4
- Rango de frecuencia de medición: Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum - Medición/resolución de velocidad y grosor (1): ± 0.37 Å
- Películas almacenadas: 99
- Entradas/salidas digitales: Four inputs, four relay outputs
SQM-160 Alta resolución
- Entradas de sensor QCM: Standard: 2; optional: 4
- Rango de frecuencia de medición: Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum - Medición/resolución de velocidad y grosor (1): ± 0.037 Å
- Películas almacenadas: 99
- Entradas/salidas digitales: Four inputs, four relay outputs
(1) Instrumental/densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz, intervalo de medición de 0,10
Accesorios
Accesorios
| Front Load Single Sensor |
| Front Load Dual Sensor |
| Cool Drawer Single Sensor |
| Cool Drawer Dual Sensor |
| Easy Rate Single Sensor |
| Easy Rate Dual Sensor |
| UHV Bakeable Sensor |
| Sputtering Sensor |
Consumibles
Accesorios y piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 782-900-014 | 19 in. Rack Mount Kit for two SQM-160 or CI-100 instruments |
| 782-502-096-G1 | USB option card |
| 782-502-097-G1 | Ethernet option card |
| Oscillator kits | (Includes oscillator and cables) |
| 783-500-109-10 | 3 m (10 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-25 | 7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-50 | 15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable |
| 783-500-109-75 | 22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit – includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable |
| Oscillator Only | (No cables included) |
| 783-500-013-G1 | OSC-100 oscillator only (no cables) |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female |
| 782-902-012-10 | 3 m (10 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-25 | 25 7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-50 | 15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male |
| 782-902-012-75 | 22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male |
Descargas
Folletos
Manuales
SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor
PDF • 642 KB
SQM-160 Multi-Film Rate / Thickness Monitor Operating Manual
PDF • 5,2 MB
Archivos 3D
SQM-160-H-6-U – SQM Deposition Monitor
STP • 5,7 MB • 3D FILES
Número de Pieza
SQM-160
PNG • 127,0 KB
Otros
SQM-160 Comm Software V1.14(Windows)
ZIP • 5,0 MB • ENGLISH
SQM-160 LabVIEW™ Example
ZIP • 117,4 KB • ENGLISH
SQM-160 V2 Software v2.9.0 (Windows)
EXE • 15,8 MB • ENGLISH
USB Installer v1.8.0
EXE • 14,3 MB • ENGLISH • SOFTWARE
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