Sensor Individual de Carga Frontal Eficiente y Confiable para un Monitoreo Preciso de Espesor

Sensor Individual de Carga Frontal

El Sensor Individual de Carga Frontal está diseñado para una fiabilidad excepcional, durabilidad prolongada y estabilidad térmica superior, lo que lo convierte en la opción ideal para un monitoreo preciso del grosor de películas delgadas. Estos sensores están específicamente diseñados para cumplir con las exigentes demandas de los procesos de deposición de películas delgadas, garantizando mediciones precisas y consistentes en diversas aplicaciones.

El diseño de carga frontal del Sensor Individual de Carga Frontal permite una inserción sin esfuerzo del soporte de cristal, especialmente en espacios reducidos donde la inserción lateral no es posible. Esta característica que ahorra espacio permite una integración perfecta en configuraciones de sistemas compactos, mejorando la adaptabilidad y la facilidad de uso.

A diferencia de los sensores tradicionales soldados, el Sensor Individual de Carga Frontal se ensambla mecánicamente, lo que significa que las piezas pueden reemplazarse rápidamente en el campo si es necesario. Esta construcción modular ayuda a reducir el tiempo de inactividad del sistema, manteniendo su configuración de deposición de películas delgadas funcionando sin problemas con un mantenimiento mínimo

Ofrecemos el Sensor Individual de Carga Frontal tanto de forma individual como parte de una combinación de sensor/pasamuros, proporcionando soluciones personalizadas para diversas necesidades de instalación. Con opciones para soldadura o conexiones de compresión, garantiza una compatibilidad perfecta con diferentes sistemas de deposición en vacío.

Ya sea que esté actualizando un sistema existente o instalando una nueva configuración de recubrimiento de película delgada, el Sensor Individual de Carga Frontal ofrece la precisión, fiabilidad y exactitud requeridas para obtener resultados de deposición de alta calidad.

Sensor Individual de Carga Frontal

Características

  • Soporte de cristal de carga frontal
  • Instalación fácil
  • Disponible con paso de perno de 2,54 cm (1 pulg.)/paso eléctrico CF40
  • Longitud ajustable si se solicita con conectores por compresión
  • Combinaciones de sensor/paso soldadas disponibles con la longitud especificada por el cliente
  • No requiere soldadura si se solicita con conectores por compresión o soldada a un paso

Especificaciones del Sensor Único de Carga Frontal

 
Maximum operating isothermal environment temperature with minimum water flow 400°C
Water tube 1/8 in. (3.175 mm) O.D. seamless stainless steel
Crystal exchange Front loading; self-contained package for ease of exchange
Feedthrough Specifications 1 in. bolt and Ultra-Torr (compression fitting) terminations:
Materials 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperature Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
Mounting 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture

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Accesorios

Accesorios
Nombre Descripción
QCM Sensor Feedthroughs QCM Sensor Feedthroughs

Consumibles
Nombre Descripción
Quartz Monitor Crystals Quartz Monitor Crystals

Piezas de repuesto
Número de parte Descripción
007-007 Retainer spring (for crystal holder)
007-023 Ceramic Retainer
080-018 Set screw (for female coax)
750-903-G1 Standard Sensor Kit – Includes standard set screw, ceramic insulator, Teflon screw
750-904-G1 Compact Sensor Kit – Includes compact set screw, ceramic insulator, Teflon screw
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-115-P4 Coupling (installs onto bellows assembly)
750-169-P2 Bellows assembly (coupling not included)
750-171-P1 Finger spring contact
750-172-G1 Crystal holder (includes retainer spring)
750-174-P2 Female coax
750-188-P3 Leaf Spring
750-210-G1 Shutter module (bellows assembly, shaft assembly, and shutter assembly)
750-215-G1 Shaft assembly (part of shutter module)
750-216-G1 Shutter assembly (part of shutter module)In-vacuum cables
321-039-G12 In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
783-500-023 In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
007-252 In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11 In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
783-500-024 In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.)
007-044 In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059 In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061 In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) – Requires ModeLock controller
321-039-G13 In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) – Requires ModeLock controller
321-039-G14 In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) – Requires ModeLock controller
321-039-G15 In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) – Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16 In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) – Requires ModeLock controller and 4 m XIU

Descargas

Archivos 3D

SL-B0E00 Front Load Right Angle Single Sensor

STP • 100,5 KB • 3D FILES

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Manuales

Front Load Single/Dual Sensor Operating Manual

PDF • 5,9 MB • Operating Manual

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Otros

Application Note – Shuttered Crystal Sensor

PDF • 121,3 KB • INGLAS

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What is a QCM Sensor?

PDF • 531,6 KB • INGLAS

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