El IMM-200 es un monitor avanzado de deposición de película delgada diseñado para ofrecer una precisión y fiabilidad inigualables. Construido con la tecnología ModeLock de INFICON, maximiza la reproducibilidad y la uniformidad, mientras proporciona mediciones de alta resolución, precisión superior en el espesor y mínimo ruido en la tasa.
Con un oscilador integrado, el IMM-200 se integra perfectamente en sistemas basados en Ethernet, requiriendo un mínimo de hardware y ocupando poco espacio. Su diseño compacto pero potente asegura un rendimiento óptimo para diversas aplicaciones industriales y de investigación.
Características
- Tecnología ModeLock – Garantiza la mayor vida útil del cristal y las mediciones de tasa y espesor más estables y de alta resolución, incluso a tasas de deposición muy bajas.
- Máximo Rendimiento y Precisión – Proporciona la mejor medición de espesor QCM (Microbalance de Cristal de Cuarzo), mejorando la eficiencia del proceso y la calidad del producto.
- Económico y Eficiente – Un monitor de un solo canal con un diseño optimizado, eliminando características innecesarias para reducir costos sin sacrificar el monitoreo de alto rendimiento.
- Alta Precisión en las Mediciones – Logra una estabilidad de ±0,0035 Hz en un tiempo de muestra de 100 ms, asegurando un control ultra preciso en la deposición de películas delgadas.
- Conectividad Ethernet – Permite una integración perfecta con sistemas de fabricación modernos, mejorando la automatización y control de los procesos.
- Diseño Compacto y Ahorro de Espacio – El diseño compacto del IMM-200 minimiza los costos de integración y optimiza el uso del espacio de trabajo, lo que lo hace ideal para entornos de fabricación de alta tecnología.
- Soporte Experto en Aplicaciones – Nuestro equipo ofrece soporte especializado, atendiendo necesidades de aplicaciones únicas y brindando experiencia líder en la industria.
- Cumple con RoHS – Fabricado para cumplir con estrictos estándares medioambientales y de seguridad, asegurando una producción sostenible y responsable.”**
Especificaciones IMM-200 :
- Entradas del sensor: 1
- Rango de frecuencia de medición: 6,0 a 4,5 MHz (fijo)
- Resolución de tasa y espesor:
0,0042 Å (cristal nuevo); 0,0076 Å (cristal @ 4,5 MHz) sobre muestra de 100 ms para densidad de material = 1,0, Relación Z = 1,0 - Tipo de comunicación: Ethernet, 1 toma RJ45
Aplicaciones típicas:
- Fabricación de semiconductores
- Aplicaciones OLED
El IMM-200 es la solución perfecta para el monitoreo de deposición de alta precisión, proporcionando una precisión, eficiencia y control inigualables para procesos de fabricación avanzados.
IMM-200 Operating Manual (English)
PDF • 5 MB • INGLESA
IMM-200 Brochure
PDF • 376 KB • INGLESA
PDMAT SemiQCM Datasheet
PDF • 1 MB • INGLESA
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