Optimiza los procesos semiconductores con el sensor SemiQCM™ CR.
El sensor SemiQCM™ CR es una solución altamente duradera e inertizada químicamente, diseñada para cámaras CVD y ALD, incluso en las condiciones más exigentes. Como parte de un sistema integral de monitoreo de precursores, se integra perfectamente con el IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior) para garantizar un control preciso del proceso y una mayor eficiencia operativa.
Monitoreo Optimizado de Procesos Semiconductores
Con el seguimiento en tiempo real de los precursores, el SemiQCM CR mejora las aplicaciones de semiconductores al permitir la detección de puntos finales y la prevención de fallos. Al monitorear continuamente los niveles de precursores en el antecampo o en el escape de la cámara, garantiza un enfoque rentable para la estabilidad y optimización del proceso.
Detección Inmediata de Entrega de Precursores
La alta sensibilidad del sistema permite identificar rápidamente fallos en la entrega de precursores, detectando problemas tan pronto como con una sola oblea, minimizando el desperdicio y maximizando la eficiencia del proceso.
Características
- Monitoreo de Alta Frecuencia: Los datos de QCM se capturan a 10Hz, asegurando mediciones rápidas y confiables.
- Correlación Inteligente de Datos: FabGuard sincroniza los datos de QCM con los estados de la herramienta y los pasos del proceso para un análisis preciso.
- Precisión Superior en las Mediciones: Permite un seguimiento de alta precisión de las tasas de deposición y grabado.
- Sensibilidad Sub-Monocapa: Detecta cambios en capas ultra-finas con una precisión excepcional.
Ventajas
- Monitoreo en Tiempo Real, In-Situ: Proporciona supervisión continua del entorno del proceso.
- Prevención de Sobre-Grabado: Detecta y previene la eliminación excesiva de material, optimizando el rendimiento.
- Detección de Fallos y Diagnóstico: Identifica anomalías en el estado del equipo o del proceso para un mantenimiento proactivo.
Aplicaciones típicas
• Fabricación de semiconductores
Especificaciones del sensor SemiQCM™ CR:
| Temperatura máxima | 200°C |
| Tamaño del cabezal del sensor (envolvente máxima) | 15 mm O.D. x 39.2 mm (0.59 in. O.D. x 1.54 in.) |
| MATERIALES | |
| Cuerpo y soporte SemiQCM CR | Aluminio 6061 |
| Muelles SemiQCM CR | Níquel berilio |
| SemiQCM Tuerca CR y tubo conductor/i> | Inconel 625 |
| SemiQCM CR Otras piezas mecánicas | Níquel 200, aluminio o Inconel 625 |
| Aisladores | >99% Al2O3 en vacío: Teflon® utilizado en otros lugares |
| Alambre | 1. Ni (en vacío) 2. Cu niquelado (en otros lugares) |
Descargue aquí las especificaciones completas
PDF • 48 MB
Consumibles
| Part Number | Description |
| 750-7053-G1S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed |
| 750-7053-G2S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed |
| 750-7053-G3S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
| 750-1089-G10 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals |
| 750-1127-G5 | SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals |
| 750-1128-G5 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals |
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
Para obtener información detallada sobre precios o saber cómo el SemiQCM™ CR puede beneficiar sus necesidades específicas, no dude en ponerse en contacto con nosotros.