Mejora tus procesos de semiconductores con los sensores SemiQCM™ SR para un monitoreo preciso de precursores.
El sensor SemiQCM™ SR es una parte fundamental de un sistema diseñado para un monitoreo preciso de precursores, trabajando en conjunto con el IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
Al aprovechar la tecnología in-situ QCM, esta solución de monitoreo ofrece una manera rentable de rastrear los procesos semiconductores, asegurando un mejor control sobre la entrega de precursores en la línea de alimentación o el escape de la cámara. Proporciona un valor significativo al detectar fallos en la entrega de precursores después de solo una oblea, lo que lleva a una mayor eficiencia del proceso y rentabilidad.
Características
- Datos QCM monitorizados a 10Hz
- FabGuard correlaciona los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso
- Medición precisa de las velocidades de deposición o grabado
- Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapas
Ventajas
- Control del proceso in situ y en tiempo real
- Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
- Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
Aplicaciones típicas
• Fabricación de semiconductores
Este sistema de monitoreo de vanguardia garantiza una precisión, flexibilidad y confiabilidad excepcionales en las aplicaciones de deposición de película delgada, lo que lo convierte en una opción ideal tanto para la investigación como para el uso industrial.
Especificaciones de los Sensores SemiQCM™ SR:
| Maximum Temperature | 200°C |
| Sensor head Size (Maximum envelope) | 23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.) |
| MATERIALS | |
| Body and Holder | 304 stainless steel |
| Springs | Au plated BeCu |
| Coaxial Line | 5 mm (1.88 in.) O.D. stainless steel |
| Other Mechanical Parts | 18-8 or 304 stainless steel, Hastelloy® c276 |
| Insulators | >99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere |
| Wire | 1. Ni (in vacuum) 2. Ni plated Cu (elsewhere) |
| Braze | Vacuum process high temperature NiCr alloy |
| Crystal | 18-8 or 304 stainless steel, Hastelloy® c276 |
Descargue aquí las especificaciones completas
PDF • 48 MB
PDMAT SemiQCM Datasheet
PDF • 997,3 KB • INGLESA
SemiQCM for TDMAT Dimensions
PDF • 199,9 KB • INGLESA
TDMAT Precursor Monitoring with a Quartz Crystal Microbalance Application Note
PDF • 1,3 MB • INGLESA
Para obtener información detallada sobre precios o saber más sobre cómo el SemiQCM™ SR puede beneficiar sus necesidades específicas, no dude en ponerse en contacto con nosotros.