Sensor Dual de Carga Frontal – Solución de Alto Rendimiento para Monitoreo Preciso de Películas Delgadas

Sensor Dual de Carga Frontal

El Sensor Dual de Carga Frontal está diseñado para una precisión, fiabilidad y durabilidad excepcionales, lo que lo convierte en una opción ideal para procesos críticos de deposición de películas delgadas. Con su configuración de doble cristal, este sensor asegura una operación continua, ya que el cristal de respaldo se activa automáticamente cuando el cristal principal alcanza su vida útil. Esta característica es esencial para aplicaciones de recubrimiento de alta precisión, minimizando las interrupciones y manteniendo una eficiencia de proceso constante.

Instalación sin esfuerzo e integración perfecta

El diseño de carga frontal simplifica la inserción del soporte de cristal, especialmente en espacios reducidos donde la inserción lateral no es factible. Esta característica que ahorra espacio mejora la flexibilidad en diversas configuraciones de sistemas, facilitando su integración tanto en nuevos sistemas como en sistemas de deposición en vacío existentes.

Diseño Duradero, Modular y de Bajo Mantenimiento

A diferencia de las alternativas soldados, el Sensor Dual de Carga Frontal se ensambla mecánicamente, lo que permite reemplazos rápidos y sin complicaciones de las piezas cuando sea necesario. Este diseño modular reduce significativamente el tiempo de inactividad, asegurando que su línea de producción se mantenga eficiente y sin interrupciones. La construcción robusta del sensor proporciona durabilidad a largo plazo, minimizando la necesidad de mantenimiento frecuente mientras ofrece un rendimiento de medición consistente y de alta calidad.

Sensor Dual de Carga Frontal

Opciones de Instalación Flexibles para Máxima Compatibilidad

Este sensor de alto rendimiento está disponible de forma individual o como parte de una combinación de sensor/pasamuros, ofreciendo soluciones personalizadas según los requisitos específicos de instalación. Con opciones para soldadura o conexiones de compresión, se integra perfectamente con diversos sistemas de deposición en vacío, asegurando la máxima adaptabilidad al proceso.

Optimizado para Aplicaciones de Alta Precisión

Diseñado para el monitoreo de películas delgadas en entornos de fabricación avanzados, el Sensor Dual de Carga Frontal soporta aplicaciones de recubrimiento exigentes, incluyendo recubrimientos ópticos, procesamiento de semiconductores y recubrimientos industriales de precisión. Su funcionalidad de doble cristal proporciona una solución rentable, reduciendo la necesidad de intervenciones manuales frecuentes y mejorando la productividad general del sistema.

Ya esté actualizando una configuración existente o diseñando un nuevo proceso de deposición en vacío, el Sensor Dual de Carga Frontal ofrece la estabilidad, precisión y eficiencia necesarias para lograr resultados de deposición superiores con requisitos de mantenimiento mínimos.

Características

  • Cristales dobles
  • Obturador de cristal
  • Soporte de cristal de carga frontal
  • Instalación fácil
  • Disponible con paso de perno de 2,54 cm (1 pulg.)/paso eléctrico CF40
  • Longitud ajustable si se solicita con conectores por compresión
  • No requiere soldadura si se solicita con conectores por compresión o soldada a un paso
  • Combinaciones de sensor/paso soldadas disponibles con la longitud especificada por el cliente

Especificaciones del Sensor Dual de Carga Frontal

 
Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo 400°C
Cambio de cristal Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
Tubos de agua S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
Especificaciones de paso eléctrico – Perno de 1 pulg. (2,54 cm) y terminaciones Ultra-Torr (conector por compresión):
Materiales 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatura Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
Conjunto 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture

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Accesorios

Accesorios
Nombre Descripción
QCM Sensor Feedthroughs QCM Sensor Feedthroughs

Consumibles
Nombre Descripción
Quartz Monitor Crystals Quartz Monitor Crystals

Piezas de repuesto
Número de parte Descripción
007-007 Retainer spring (for crystal holder)
007-023 Ceramic Retainer
080-018 Set screw (for female coax)
082-044 Teflon screw (for leaf spring)
750-115-P4 Coupling (installs onto bellows assembly)
750-169-P2 Bellows assembly (coupling not included)
750-171-P1 Finger spring contact
750-172-G1 Crystal holder (includes retainer spring)
750-174-P2 Female coax
750-175-P1 Insulator (underneath leaf spring)
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-188-P3 Leaf Spring
750-210-G1 Shutter module (bellows assembly, shaft assembly, and shutter assembly)
750-215-G1 Shaft assembly (part of shutter module)
750-216-G1 Shutter assembly (part of shutter module)In-vacuum cables
321-039-G12 In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
783-500-023 In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
007-252 In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11 In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044 In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059 In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061 In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) – Requires ModeLock controller
007-061 In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) – Requires ModeLock controller
321-039-G13 In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) – Requires ModeLock controller
321-039-G14 In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) – Requires ModeLock controller
321-039-G15 In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) – Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16 In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) – Requires ModeLock controller and 4 m XIU

Descargas

Manuales

Front Load Single/Dual Sensor Operating Manual

PDF • 5,9 MB • Operating Manual

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Instruction Sheet: CrystalTwo Switch

PDF • 469,4 KB • Operating Manual

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Archivos 3D

DL-AE00 Front Load Dual Sensor

STP • 522,0 KB • 3D FILES

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Otros

Application Note – Shuttered Crystal Sensor

PDF • 121,3 KB • ENGLISH

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What is a QCM Sensor?

PDF • 531,6 KB • ENGLISH

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