pvd cluster Load Lock Robot Loading

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Caracteristicas de pvd cluster Load Lock Robot Loading

pvd cluster load lock robot loading 2
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La evaporación al vacío es un método típico utilizado para la deposición de películas funcionales sobre diversos sustratos. Las partículas que se han evaporado se depositan en el sustrato donde se condensan de nuevo al estado sólido. Esta gama de máquinas se ha desarrollado tanto para la I+D como para la producción por lotes y se adapta fácilmente al tamaño, la forma y las especificaciones del sustrato. La CT200 es una de las herramientas de cluster más avanzadas de su generación. Equipo versátil y escalable destinado a ser instalado en una sala blanca, este clúster de PVD se basa en una cámara de transferencia central equipada con un diseño de robot de vacío fiable y seguro. Desde esta cámara, los sustratos se distribuyen a los diferentes módulos de proceso. Esta máquina puede estar formada por diferentes módulos, hasta 6, alrededor de una cámara de transferencia.

El cluster pvd – Physical Vapor Deposition – Load Lock Robot Loading es uno de los clustertools más avanzados de su generación para 2022, es la herramienta definitiva para la deposición de películas finas.Un gran equipo versátil y escalable destinado a ser instalado en una sala blanca, este cluster PVD se basa en una cámara de transferencia central equipada con un robot de vacío fiable y seguro de nuestro diseño. Desde esta cámara, los sustratos se distribuyen a los diferentes módulos de proceso. Esta máquina puede estar formada por diferentes módulos, hasta 6, alrededor de una cámara de transferencia

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